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更新時(shí)間:2014-10-22
點(diǎn)擊次數(shù):1357
              滿量程流量范圍(N2)  | 5SCCM~10SLM  | 
控制范圍  | 2~100%F.S.  | 
閥類型(及閥初始狀態(tài))  | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)  | 
準(zhǔn)確度  | ±1.5%F.S.  | 
線性  | ±0.5~1.5%F.S.  | 
重復(fù)度  | ±0.2%F.S.  | 
響應(yīng)時(shí)間  | ≤7sec  | 
作溫度范圍  | 5~45℃  | 
作壓差  | 0.1~0.5MPa  | 
耐壓  | 3MPa  | 
漏氣率  | 1×10-8atm.cc/sec He  | 
密封材料  | 氟橡膠(或氯丁橡膠)  | 
電插頭形式  | DB15 pin(Female)  | 
接頭選擇  | VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose  Swagelok 1/4"或φ6、φ3  | 
重量  | 1.1Kg  |